聚焦离子束扫描电子显微镜试运行通知

各位老师同学：

        平台新购置聚焦离子束扫描电子显微镜（FIB-SEM），最高分辨率可达0.7nm，可用于各类样品的二次电子成像（SEM）和透射成像(STEM)。FIB-SEM模式可对材料进行逐层扫描成像实现高分辨3D成像与解析工作。现征集合适样品，免费试用，具体测试内容请联系王森（0532-58632506）或来N1-102互相交流学习。

试运行时间：2022.3.7-4.7

管理人：王森，于海燕、赵晓敏、郭玉玉

联系方式：0532-58632506、58632512

地点：第周苑A座N1-102

仪器型号：Zeiss Crossbeam 550

主要技术参数：

A.      高稳定性热场发射电子枪。二次电子分辨率：≤0.7nm@15KV，≤1.4nm@1KV。放大倍数：12x-2,000,000x连续可调。

B.       离子源类型：液态镓离子源。离子束分辨率：≤3nm@30KV。具备铂沉积气体。

C.      样品室内二次电子探测器(SE detector)。镜筒内正光轴二次电子探测器(Inlens SE)。镜筒内正光轴背散射电子探测器(Inlens EsB)。气动可伸缩STEM探测器（aSTEM)。

D.      三维重建功能：基于2D图像堆垛构件可视化三维模型，并可以进行3D重构、图像序列校正、结构的分离及渲染、数值分析与统计、多通道定量分析、可视化及展示。

主要功能及特色：

1.       用于各类样品（无机、金属、高分子、生物等）的超高分辨率成像，包括低电压高分辨镜筒内二次电子像（SEM）和扫描透射成像(STEM)。

2.       对常规不导电样品，扫描电镜测试时可无需喷金直接观测，避免镀膜造成的假象，适合纳米级样品的高分辨成像。

3.       STEM模式和EsB模式可应用于细胞生物学、生物医学等学科研究，观察细胞或者组织等的内部超微结构。

4.       FIB-SEM可对材料进行逐层扫描成像并利用先进的三维重构软件进行高分辨率的3D成像与解析工作。

5.       凭借FIB-SEM独特的微、纳尺度制造能力和加工优势，可实现纳米图像制备、透射电镜样品制备、集成电路编辑和修复等技术领域。